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Componentes de equipos de semiconductores en 17-4PH y PEEK

Utillajes de cámara y componentes aislantes para un fabricante de equipos de semiconductores — planitud ajustada, acabado en electroerosión espejo, verificación CMM Zeiss. Recorrido anonimizado del proyecto.

ClienteFabricante de equipos de semiconductores (anonimizado)
PiezasUtillajes de cámara de vacío, espaciadores aislantes y soportes
MaterialesAcero inoxidable 17-4PH, PEEK
Tolerancias clavePlanitud en caras de sellado; grado de característica ±0.003 mm
ProcesosMecanizado CNC, rectificado de precisión, electroerosión espejo
VerificaciónCMM Zeiss CONTURA, FAI por corrida, informe por envío

El requisito

Dentro de una cámara de proceso, los materiales le juegan en contra en direcciones opuestas. Las piezas de utillaje en 17-4PH necesitan resistencia mecánica y a la corrosión, con caras de sellado lo bastante planas para que una junta selle de verdad tras el ciclado térmico. Los aislantes de PEEK deben sostener la geometría sin el comportamiento de expansión térmica del metal — y ambas familias de materiales necesitan estrategias distintas de corte, sujeción y acabado. Además, cualquier rebaba o marca de manipulación dentro de una cámara se convierte en un problema de partículas.

Lo que hicimos

Los utillajes de acero inoxidable se mecanizaron en desbaste, recibieron alivio de tensiones y luego se mecanizaron al acabado y se rectificaron en rectificadoras de superficies para llevar las caras de sellado a la planitud sin encerrar tensiones de mecanizado. Las piezas de PEEK se cortaron con herramienta afilada de gran despeje y presión de sujeción controlada para evitar la fluencia alrededor de las características. Los quiebres de arista y el desbarbado se especificaron y se inspeccionaron, no se dieron por sentados. El acabado interior de una característica sensible a corrientes de Foucault exigió electroerosión espejo — la misma capacidad interna de electroerosión que usamos para el trabajo de moldes. Todo se verificó en las CMM Zeiss CONTURA, con informes FAI por corrida.

El resultado

El cliente consolidó ambas familias de materiales con un solo proveedor capaz de sostener la planitud del metal y la geometría del plástico bajo el mismo sistema de calidad — una norma de inspección, un formato de informe, un flujo logístico. Los lotes de recompra se ejecutan contra datos FAI aprobados, de modo que los nuevos lanzamientos parten de un proceso conocido en lugar de un ejercicio de descubrimiento desde cero.

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